光学微电子净化车间工程案例

公司电子产品（精密）锻造工艺升级更新,需新建造400平方米洁净度为100级洁净车间,且根据产品市场情况考虑是否需要再增加净化面积至800平方米.方案设计需一次完成,施工只需完成400平方米面积.基于净化工程的特殊性,及该项目改造的局限,本次洁净系统设计与实施围绕以下几点着手.

建筑基础设施

生产工艺的更新升级,部分车间将由此次改造建设成洁净车间..此部分虽然位于单层厂房处,但其上部约有4.5米的空间可用作管道层,下部也可改造成有1.5米深的回风层.洁净室布置厂房中心部,四周无外墙.结合工艺和改造工程的需要,周围布置了产品仓库,走道,机房等.这样的建筑平面设计最大程度也满足了洁净室的要求.洁净厂房内部的装饰材料分别是：吊顶为金属板,墙面为洁净室专用墙板,地面为洁净室专用回风地板.照明等内部设施充分考虑了洁净车间的特殊需要,均为不易起尘材料.人员进口处设风淋室,物料传输设传递窗.

无尘车间改造工程

洁净室室内设计参数

洁净室洁净度：100级

洁净室温度：25℃；湿度50％

气流组织：上送下回

换气次数：50次/h

室内正压值：5mmH2O

空调负荷计算：经计算洁净车间的空调负荷如设计稿所示

净化系统概述

风系统：新风经洗净,初过滤,中过滤与回风混合后进人空凋器,空凋器按洁净车间的热、湿负荷需求处理约20％的循环风量,空调器出风与经循环风机箱的回风再次混合至出风温度,回风经洁净室专用回风地板,通过1.5米深的回风层,回至空调器/循环风机箱.

水系统：由新设的二次泵将二次冷水在空调器、冷水槽之间循环.

加湿系统：采用蒸汽作为加湿源.

洁净系统自动控制

冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化,为系统提供适合的冷热量

过滤系统(包括高效、中效、初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置

蒸汽加湿器设置控制系统,根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量

系统连锁控制：基本控制是当风机停止时,所有的水阀、风阀随即关闭